フイルム真空貼付機
高精度な真空技術で、多彩な
デバイスの積層プロセスを最適化
当社の真空貼付装置は、ウェハ全般から液晶、
水晶、MEMS電子部品まで、
幅広い分野での真空貼り合わせに
対応しています。
局所真空チャンバー内での処理により、高品質な
製品づくりをサポートします。

幅広い対応力
ウェハ全般、水晶、MEMS等、
多様な電子部品の生産に対応
液晶パネル対応
偏光板等の貼り合わせにおいて、
後工程のオートクレイブを不要に
静電気対策
局所真空チャンバー方式を採用し、
デリケートな電子部品にも適合
応用の柔軟性
既存の生産方法に合わせた真空貼付けの
カスタマイズが可能






