株式会社都波岐精工|長野県岡谷市のアルミフレーム設計製作なら

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facility設備紹介

高精度な真空技術で、多彩な
デバイスの積層プロセスを最適化

当社の真空貼付装置は、ウェハ全般から液晶、
水晶、MEMS電子部品まで、
幅広い分野での真空貼り合わせに
対応しています。
局所真空チャンバー内での処理により、高品質な
製品づくりをサポートします。

幅広い対応力

ウェハ全般、水晶、MEMS等、
多様な電子部品の生産に対応

液晶パネル対応

偏光板等の貼り合わせにおいて、
後工程のオートクレイブを不要に

静電気対策

局所真空チャンバー方式を採用し、
デリケートな電子部品にも適合

応用の柔軟性

既存の生産方法に合わせた真空貼付けの
カスタマイズが可能

装置内真空引き機能

1.ウェハダイシング工程において表面保護BGラミネーティング工程とダイシングテープラミネーティングの2工程の貼付工程を要してダイシング作業に入ります。

2.すなわち2台のウェハマウントが必要であり、現在の貼付方式はそのほとんどにロール方式の貼付機が主流となっております。

3.現在の動向としてMEMS時代の流れの中で、ますますウェハーを含む電子部品の軽薄及びスモール化の想定において、都波岐精工の真空貼付方式が着目をされております。

当社の設備の一つである
真空貼付装置をご案内いたします

半導体関連設備開発 
真空貼付装置のカタログは
こちらから

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名 称メーカー型 式備 考台数
マシニングセンター安田工業YBM 850V500×8002
マシニングセンター牧野フライスFNC 106600×10001
NCフライス牧野フライスAVNC-74400×7001
ワイヤーカット牧野フライスEC-3040加工範囲 300×4001
NC放電加工機牧野フライスEDNC-32加工範囲 350×5001
治具フライス盤牧野フライスKVJP-55 1
治具フライス盤牧野フライスKSJP 1
立フライス盤日立精機MS-V 1
4尺施盤ワシノ機械LPT-35C 1
卓上施盤江黒鉄工6B 1
成型研削盤岡本工作機械PFG-450150×3001
平面研削盤岡本工作機械MA-2300×6001
平面研削盤黒田精工GS-BMHL150×3001
工具研削盤三協精機CTGコレット径 ~φ101
タッピングマシンKIWAKUD-700 1
ラジアルボール盤大隈鉄工所DMB 1
ボール盤 3
コンターマシーンラクソーU-300 1
コンターマシーンラクソーSE-360 1
汎用NCフライス盤山崎技研YZ320R320×750

名 称メーカー型 式備 考台数
三次元測定機キーエンスWM-3500 1
画像寸法測定器キーエンスIM-X1000シリーズ 1

名 称メーカー型 式備 考台数
CAD/CAMテクニウムMY PAC 1
CAD 2DCAD PACFUSION 2003 2D 2
CAD 3DPTCCreo Elements / Direct Modeling 2

当社自慢製品の種類や仕様を
ご案内いたします

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構想段階からのご相談も歓迎です。
一貫体制によるスムーズな進行と
実用性の高い製品づくりをお約束します。