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フイルム真空貼付機

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真空貼付装置

  • ウェハ全般の真空貼付ができます
  • 液晶関係の貼り合わせができます。(偏光板 他)オートクレイブ後工程が不要
  • 水晶関係の貼り合わせができます。
  • その他、MEMS電子部品の生産方法として真空貼付けの応用が可能です。
  • 局所真空チャンバー内貼付けのため静電気対策に適合します。

気泡が入らないテープ貼付け

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